產品及服務介紹
PRODUCTS & SERVICE
ARRAY段
真空機械手臂用磁流體軸封
XXC0145CER00001
製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封
XXS0030CMR00004
旋轉腔內金屬架旋轉用軸封
AXR0100WXZ00001
XXT0260CNR00001
磁控腔內磁鐵擺動用磁流體軸封
AFM0020CNR00001
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