詳細說明

一般環境使用 / 安裝時需注意調整各組件間的同心度

耐用真空度 (Torr)	10^-7
使用溫度範圍 ( C)	0~80
轉速範圍 (RPM)	0~1200
使用氣體	非活性氣體

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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• TFT ARRAY
• PVD
• 磁流體軸封
• 旋轉磁性軸封
• FerroFluid Feedthrough
• Magnetic Feedthrough
• Rotary Feedthrogh