產品及服務介紹
製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封
詳細說明
一般製程環境使用(氣冷)(G6以下)(102266310)
耐用真空度 (Torr) | 10^-7 |
使用溫度範圍 ( C) | 0~80 |
轉速範圍 (RPM) | 0~200 |
使用氣體 | 非活性氣體、無酸鹼 |
- TFT ARRAY
- PVD
- 磁流體軸封
- 旋轉磁性軸封
- FerroFluid Feedthrough
- Magnetic Feedthrough
- Rotary Feedthrogh