詳細說明

Array產線用集聚多軸式Robot 真空設備 (Sputter)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

---

• TFT ARRAY
• PVD
• 磁流體軸封
• 旋轉磁性軸封
• FerroFluid Feedthrough
• Magnetic Feedthrough
• Rotary Feedthrogh