產品及服務介紹
旋轉腔內傳動模組用磁流體軸封
詳細說明
體積小 / 高溫環境使用(G6以下)
耐用真空度 (Torr) | 10^-7 |
轉速範圍 (RPM) | 0~200 |
使用氣體 | 非活性氣體 |
冷卻水壓力(kg/cm^2) | 5 |
使用溫度範圍( C) | 0~80 |
- 濺鍍設備
- PVD
- 磁流體軸封
- 旋轉磁性軸封
- FerroFluid Feedthrough
- Magnetic Feedthrough
- Rotary Feedthrogh