詳細說明

高溫環境使用(水冷)(G6以下)(102266311)

耐用真空度 (Torr)	10^-7
轉速範圍 (RPM)	0~200
使用氣體	非活性氣體
冷卻水壓力(kg/cm^2)	5
使用溫度範圍( C)	0~80

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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• 濺鍍設備
• PVD
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