產品介紹

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製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封

XXS0030WMR00001

製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封

    水冷式磁流體軸封

馬上詢價!

詳細說明

高溫環境使用(水冷)(G6以下)(102266311)

耐用真空度 (Torr) 10^-7
轉速範圍 (RPM) 0~200
使用氣體 非活性氣體
冷卻水壓力(kg/cm^2) 5
使用溫度範圍( C) 0~80

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


  • 濺鍍設備
  • PVD
  • 磁流體軸封
  • 旋轉磁性軸封
  • FerroFluid Feedthrough
  • Magnetic Feedthrough
  • Rotary Feedthrogh

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