產品及服務介紹
AS-One
詳細說明
特性說明:
- 可搭配4" (100 mm)及6" (150 mm)晶片
- 落地式系統可降低使用的樓地板面積
- 高信賴性及低總體成本
- 可搭配真空系統及製程氣體控制環境
- 不銹鋼冷壁式技術提供極高的製程再現性、潔淨度及無污染的環境,更擁有極快的降溫速度及低的記憶效應
- 高溫計搭配熱電耦型溫度計,再輔以最先進的數位PID控制,提供從低溫至高溫區段的精準溫度控制
- 邊緣高溫計的窺視窗可加強樣品座的溫度控制,提升化合物半導體及小樣品的溫度精準度
- 可提供客戶傑出的技術及製程支援
應用產業:
• RTA (Rapid Thermal Annealing) 快速升溫退火
• RTO (Rapid Thermal Oxidation) 快速升溫氧化
• Contact annealing 接觸層退火
• Implant annealing 摻雜退火
• CVD of graphene 石墨烯CVD
• CVD of carbon nanotube 奈米碳管CVD
- Implant annealing
- Contact annealing (III-V and SiC)
- Rapid Thermal Oxidation (RTO)
- Rapid Thermal Nitridation (RTN)
- Selenization (CIGS solar cells)
- Silicon carbonization
- Sol-gel densification and crystallization
- Diffusion from spin-on dopants
- Simple and multi-metallic oxides
- Metals, nitrides and alloys
- III-V, wide band gap semiconductors
- 2D and 3D materials
- hBN, MoS2, WS2, MoSe2, WSe2, Graphene
- SiC implant annealing
- CVD of graphene
- Graphene by high temperature SiC sublimation