Measurement Service

薄膜穿透深度剖面是由橫向高縱橫比 (LHAR) 測試結構實現的獨特實驗數據。

它是透過測量 LHAR 溝槽處的膜厚度與深度距離的關係而獲得的。

Chipmetrics 測量服務包括線性掃描反射測量樣品測量、掃描電子顯微鏡 (SEM) 和成像橢偏儀。

網站
https://chipmetrics.tw/

























































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Atomic Layer Deposition (ALD)
High Aspect Ratio
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