Pillar Hall

PillarHall® LHAR4 矽測試晶片用於ALD和CVD 薄膜表徵的橫向高深寬比 (LHAR) 測試結構。

它用作高深寬比溝槽中薄膜共形性和側壁覆蓋率的測量工具。

PillarHall 的創新方法消除了需要破壞樣本、特殊分析工具、專業用戶和特殊昂貴服務的需要，從而降低了測量成本。

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https://chipmetrics.tw/

























































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