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詳細說明

設備外觀

 

 

機台工作能力

Basic Pressure (底壓力) 5E*10-5 Torr
Process Pressure (製程壓力) 3~8E*10-3 Torr
Product Width (膜寬度) 700mm (有效區:640mm)
Product Length (可生產的長度) 500Meter
Chamber Temp. (腔體溫度)

60~200℃ (Process)

Film Uniformity (膜厚均勻性) ≥ 3%
Film Thickness (膜厚度) 30~600nm
Gas MFC (氣體流量控制範圍)

Ar(氬) *2(500sccm);O2(氧) *6 (100sccm) ;N2(氮)

Poly Cold Function

 

 

適用底材

  • PET

  • 平織布

  • 針織布

  • 不織布

  • 銅薄膜

 

 

靶材選擇

現有靶材

項次 材質 純度 Size (mm) Qty 備註
1 Si 3N 990 2  
2 Cu 4N 990 2  
3 Graphite 4N 990 1  
4 Stanless Steel SUS 304 990 2  
5 Aluminum Alloy AL 6061 990 2  

 

曾使用過之靶材

項次 材質 純度 Size (mm) Qty 備註
1 Mg 4N 990 2  

 

 

電源供應器

現有電源供應器

項次 廠牌 型號 規格 數量 備註
1 AE PE II 10K MF 10KW 2 40KHz
2 DELTA HPH-10KB800AT DC 10KW 1  

 

曾使用過之電源供應器

項次 廠牌 型號 規格 數量 備註
1 TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000

Bipolar 10KW

1 2KV
2 TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias 4000

Bias 10KW

1 1500V
3 TRUMPF Hüttinger

Highpulse 4000

Highpulse 10KW

1  
4 Alfa

ULStream 20

DC 20KW 1  

 


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