產品及服務介紹
設備介紹
詳細說明
設備外觀
機台工作能力
Basic Pressure (底壓力) | 5E*10-5 Torr |
Process Pressure (製程壓力) | 3~8E*10-3 Torr |
Product Width (膜寬度) | 700mm (有效區:640mm) |
Product Length (可生產的長度) | 500Meter |
Chamber Temp. (腔體溫度) |
60~200℃ (Process) |
Film Uniformity (膜厚均勻性) | ≥ 3% |
Film Thickness (膜厚度) | 30~600nm |
Gas MFC (氣體流量控制範圍) |
Ar(氬) *2(500sccm);O2(氧) *6 (100sccm) ;N2(氮) |
Poly Cold Function | 有 |
適用底材
-
PET
-
平織布
-
針織布
-
不織布
-
銅薄膜
靶材選擇
現有靶材
項次 | 材質 | 純度 | Size (mm) | Qty | 備註 |
1 | Si | 3N | 990 | 2 | |
2 | Cu | 4N | 990 | 2 | |
3 | Graphite | 4N | 990 | 1 | |
4 | Stanless Steel | SUS 304 | 990 | 2 | |
5 | Aluminum Alloy | AL 6061 | 990 | 2 |
曾使用過之靶材
項次 | 材質 | 純度 | Size (mm) | Qty | 備註 |
1 | Mg | 4N | 990 | 2 |
電源供應器
現有電源供應器
項次 | 廠牌 | 型號 | 規格 | 數量 | 備註 |
1 | AE | PE II 10K | MF 10KW | 2 | 40KHz |
2 | DELTA | HPH-10KB800AT | DC 10KW | 1 |
曾使用過之電源供應器
項次 | 廠牌 | 型號 | 規格 | 數量 | 備註 |
1 | TRUMPF Hüttinger |
TruPlasma Bipolar 4000 |
Bipolar 10KW |
1 | 2KV |
2 | TRUMPF Hüttinger |
TruPlasma Bias 4000 |
Bias 10KW |
1 | 1500V |
3 | TRUMPF Hüttinger |
Highpulse 4000 |
Highpulse 10KW |
1 | |
4 | Alfa |
ULStream 20 |
DC 20KW | 1 |