詳細說明

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

---

• End block
• Rotary cathode driving module
• Rotary target
• Rotary cathode
• Cathode drive unit
• 端頭
• 旋轉端頭
• 旋轉靶驅動模組
• 旋轉陰極驅動模組
• 旋轉靶
• 柱狀靶
• 圓形靶
• 旋轉陰極
•