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製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封

    XXS0030WMR00005

    製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封

      水冷式磁流體軸封

    馬上詢價!

    詳細說明

    高溫環境使用(水冷)(G6以下)

    耐用真空度 (Torr) 10^-7
    轉速範圍 (RPM) 0~200
    使用氣體 非活性氣體、無酸鹼
    冷卻水壓力(kg/cm^2) 5
    使用溫度範圍( C) 0~80

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     


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