產品及服務介紹
旋轉腔內金屬架旋轉用磁流體軸封
詳細說明
高荷重 / 穩定性佳(上方)(空心軸)(G6以上)
應用機台:
彩色濾光片產線用濺鍍設備 NAR, New Aristo, AL2260
- 濺鍍設備
- PVD
- R腔
- 旋轉腔
- 磁流體軸封
- 旋轉磁性軸封
- FerroFluid Feedthrough
- Magnetic Feedthrough
- Rotary Feedthrogh