產品介紹

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旋轉靶驅動端頭

旋轉靶驅動端頭

旋轉靶驅動端頭

  • 產品型式:
  • 1. 內置安裝型
    (a)FI040L001
    (b)FI020L001
    2. 外置安裝型
    (c)FE040L001
    (d)FE020L001

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詳細說明

ANTSBlack®旋轉靶驅動端頭包含專利的磁性流體密封模組,與唇形密封模組相比,磁流體驅動系統具有絕佳性能。其優勢如下:

  • 使用壽命更長。
  • 轉動部件低磨耗/不產生粉塵微粒子。
  • 低磨擦低耗能。
  • 能達到更高的真空氣封。
  • 高溫下具有更高可靠性。
Items ANTSBlack®
端頭支撐 單側/雙側
電源引入 銅電刷
驅動方式 變頻器/直流驅動器
水封 雙唇形密封
真空氣封 磁流體密封
真空氣封 失效預警偵測
靶材選用 常規


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