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2017-04-042017/04 LED Taiwan 2017
應用奈米科技連續4年參加於由SEMI主辦的LED Taiwan 2017,會中展出磁流體軸封、接觸角影像量測儀等產品。磁流體軸封適用於Veeco、Aixtron等MOCVD設備的Wafer disc旋轉單元及真空手臂的傳動單元,另特別推出洩漏感測器(Leakage Detector)配件,以符合智慧製造及綠色生產概念,為客戶創造最大價值;另接觸角量測儀則適用於不同wafer、材料等的表面性質量測,以確保封裝、塗佈等製程的穩定性。
另在代理產品部份則主推ANNEALSYS的RTP及DLI-ALD,其中可達2000度C的Zenith100 RTP可應用於超高溫製程需求,如SiC等特別材料;而DLI-ALD則可利用其以液態傳輸前趨物的特性,增加特殊元素前趨物的應用範圍。
歡迎蒞臨K0321展位參觀。