事例・実績
大型スパッタリング装置_A
CF段物理氣相沈積設備
成功導入ANTS磁流體軸封於 LCD CF段用大型濺鍍設備，適用於大氣/真空銜接腔體、高溫製程腔體及玻璃載具旋轉腔體等場所
お問い合わせ内容
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