大型In-line スパッタリング装置

ANTS磁性流体シールのARRAYセクション用大型スパッタ装置への導入に成功しました。本技術は、大気／真空接続チャンバー、高温プロセスチャンバー、ガラス搬送体回転チャンバーなどの環境に適用可能です。