製品紹介
製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封
製品概要
高溫環境使用(水冷)(G6以上)
| 耐用真空度 (Torr) | 10^-7 |
| 轉速範圍 (RPM) | 300 |
| 使用氣體 | 非活性氣體 |
| 冷卻水壓力 (kg/cm2) | 5 |
| 使用溫度範圍 ( C) | 0~80 |
製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封
製品概要
高溫環境使用(水冷)(G6以上)
| 耐用真空度 (Torr) | 10^-7 |
| 轉速範圍 (RPM) | 300 |
| 使用氣體 | 非活性氣體 |
| 冷卻水壓力 (kg/cm2) | 5 |
| 使用溫度範圍 ( C) | 0~80 |
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