製品紹介
旋轉靶驅動端頭
製品概要
ANTSBlack®旋轉靶驅動端頭包含專利的磁性流體密封模組,與唇形密封模組相比,磁流體驅動系統具有絕佳性能。其優勢如下:
- 使用壽命更長。
- 轉動部件低磨耗/不產生粉塵微粒子。
- 低磨擦低耗能。
- 能達到更高的真空氣封。
- 高溫下具有更高可靠性。
Items | ANTSBlack® |
端頭支撐 | 單側/雙側 |
電源引入 | 銅電刷 |
驅動方式 | 變頻器/直流驅動器 |
水封 | 雙唇形密封 |
真空氣封 | 磁流體密封 |
真空氣封 | 失效預警偵測 |
靶材選用 | 常規 |