應用實績
APPLICATION
美商應材 濺鍍設備
Array段物理氣相沈積設備_PiVot
成功導入ANTS磁流體軸封於AMAT PiVot LCD ARRAY段用大型濺鍍設備，適用於大氣/真空銜接腔體、高溫製程腔體及玻璃載具旋轉腔體等場所
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