產品介紹

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製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封

XXS0030WMR00002

製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封

  • 產品型式:
  • 水冷式磁流體軸封

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詳細說明

高溫環境使用(水冷)(G6以上)

耐用真空度 (Torr) 10^-7
轉速範圍 (RPM) 300
使用氣體 非活性氣體
冷卻水壓力 (kg/cm2) 5
使用溫度範圍 ( C) 0~80

 


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