產品介紹

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製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封

XXS0030CMR00001

製程腔內基板載具傳動模組用磁流體軸封

  • 產品型式:
  • 氣冷式磁流體軸封

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詳細說明

一般製程腔體使用(氣冷)(G6以上)(102236061)

耐用真空度 (Torr) 10^-7
使用溫度範圍 ( C) 0~80
轉速範圍 (RPM) 0~200
使用氣體 非活性氣體

 


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