詳細說明

特性說明：

革命性創新-顆粒沈積的即時測量

目前無塵室的監控目標較集中於空氣中的微粒，但品質不受空氣中不會沈降的小顆粒影響，而是由那些落在產品上的較大顆粒所損害。即使在最好的無塵室，人們或機器正在運行時，仍會導致顆粒沈積。獲獎的APMON，一個實惠、獨立、即時測量顆粒沈積的系統，將會徹底改變此一根本事實。它可以作為報警器、用於培訓工作人員、發現顆粒沈積的根本原因，甚至是制定無塵室內顆粒沈積的標準。

即使在最乾淨的無塵室，仍有10〜100微米(μm)大的顆粒落在產品上，因為正在運行的機器及人員致使無塵室中產生顆粒沈積，行走和工作運動會產生顆粒，又因清洗或其他工作方式而接觸不同的表面，使沈降的顆粒再度懸浮到空氣中，如果這種情況離關鍵產品的表面愈近，則較大的顆粒沈積在其表面上的可能性愈高。雖然一個良好的無塵室設計是為了使顆粒被推離那些表面上，但此保護是無法達成的，因愈大的顆粒愈不容易受到空氣流動影響。

掉落

為了消除顆粒的沈積，從而提高在無塵室內製程的良率，必須找到沈積的根源。目前所有監測顆粒沈積或顆粒掉落的量測方法，皆使用監測板(witness plate)。監測板通常需放置在被測表面上達24小時，且需要小心放置和收集，以避免取放過程造成污染。收集後，通常是手動送入特定表面分析儀，該儀器即可得到顆粒的尺寸分佈，再轉化為顆粒沈積等級（Particle Deposition Class，PDC），所有的辛苦的過程僅為取得此一重要信息。

監測

荷蘭奧西的無塵室控制專家Koos Agricola表示，PDC可用於顯示顆粒控制措施：如清潔更頻繁或改善衣服材質、穿著方式等的有效性。類似的調查需要大量的勞動力、仔細的工作及特別的後續處理，但卻很難跟”良率提升”這個指標一起量化比較，此外，PDC的定期測量通常未被執行，即使執行了，結果需在超過24小時後才能得到，但在同時可能已出現可觀的生產損失。

快

APMON，為高階顆粒監控的縮寫(Advanced Particle MONitor)，光學系統會間隔幾分鐘即自動拍攝約60平方厘米面積的快照，每張快照會與前一張快照進行比對，以計算多出來的顆粒的數量及尺寸，接著會自動且連續的轉換為PDC等級。系統由一個監控器（最多可搭載六台監控器，讓您可以在同一時間確認六個不同地點的PDC等級），及一個執行計算和存儲數據的基本單元組成。當兩個拍攝時間點之間已有超過允許的顆粒沈積，則會發出報警，用戶可以設置報警級別（或允許的PDC）以及報警的位置：無論是由監控器本身發出警報、在中心站上，或在無塵室監控室的辦公桌上。APMON的維護也很簡單，一次性監控卡匣(Disposable Witness Cartridge)上面會有顆粒持續沈積，因此需定期更換，更換頻率與無塵室的品質有關，約二~三週更換一次。系統會於新的監控卡匣置換後，及在隨後的每一個快照之間進行自動校正。且監控數據會被自動保存，整理好的報表也可很容易從系統中提取。

標準

使用 APMON進行無塵室PDC監控，僅需少量的人力來建立和維護。若系統的投資成本與當前的系統相當，顯然APMON的運作成本更為實惠。但主要的優點是，測量是即時的，且至少比目前的測量快150倍，這樣就可以直接採取行動，馬上停止生產，以控制顆粒持續沈積所造成的損害。此外，它明確顯示了造成顆粒沈積的相關事件，例如地板清洗、午休時有許多人步行，或缺乏經驗的操作人員等。因此，APMON非常適合用來訓練工作人員，以及在無塵室和手術室進行品質管制。APMON亦可協助在不同無塵室類型下，定義出明確的PDC等級標準。毫無疑問的，無塵室的監控專家及使用者充分了解AMPON的價值，此更可由最近獲得了德國法蘭克福的Cleanzone2012無塵室創新獎來證實，在5個提名產品中，APMON獲得大於80％參觀者的支持。

我們預計，APMON會帶來無塵室控制的革命，不定期的微粒測量仍會用來確認空氣過濾效能，但持續、穩定的污染控制，將由顆粒沈積測量-APMON來執行。