產品及服務介紹
Wafer disc旋轉用磁流體軸封
XXS0XXXCMR00007
Wafer disc旋轉用磁流體軸封
-
應用機台:
離子佈植機 Implanter_EATON (Axcelis) GSD200 for 6”/ 8” (52-117600D)
詳細說明
特性說明:
高轉速應用
產品型式:
水冷式磁流體軸封
- 離子佈植機用
- implanter
- 磁流體軸封
- 旋轉磁性軸封
- FerroFluid Feedthrough
- Magnetic Feedthrough
- Rotary Feedthrogh