產品介紹

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Wafer disc旋轉用磁流體軸封

XXS0XXXCMR00007

Wafer disc旋轉用磁流體軸封

  • 產品型式:
  • 應用機台:
    離子佈植機 Implanter_EATON (Axcelis) GSD200 for 6”/ 8” (52-117600D)

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詳細說明

特性說明:

高轉速應用

產品型式:

水冷式磁流體軸封


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