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應用奈米科技股份有限公司 Applied NanoTechnology Science, Inc
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| 特殊軸封實例之一：加熱真空腔體轉軸旋轉軸封
原設計軸封材料採用耐溫VITON O型環與轉軸直接接觸，形成滑動磨擦，耗損軸封。
新設計採用磁流體作為軸封材料，在轉軸週圍以永久磁鐵及導磁環形成軸封。磁流體與轉軸直接接觸，但由於磁流體與轉軸間，沒有滑動磨擦，沒有軸封耗損失效的問題。
因腔內溫度高，為避免高溫導致永久磁鐵退磁及磁流體軸封材料變質，除保留原設計循環水冷裝置外，並將真空側軸承潤滑油改以磁流體取代，作為額外緩重屏障。 特點
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某半導體晶圓製代工廠化學蒸氣真空鍍膜裝置(CVD)原採用傳統設計旋轉軸封，但每三個月必須拆下檢查更換軸封耗材，以避免因軸封失效而造成的良率降低，耗費人力物力。