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应用奈米科技股份有限公司 Applied NanoTechnology Science, Inc
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| 特殊轴封实例之一：加热真空腔体转轴旋转轴封
原设计轴封材料采用耐温VITON O型环与转轴直接接触，形成滑动磨擦，耗损轴封。
新设计采用磁流体作为轴封材料，在转轴周围以永久磁铁及导磁环形成轴封。磁流体与转轴直接接触，但由于磁流体与转轴间，没有滑动磨擦，没有轴封耗损失效的问题。
因腔内温度高，为避免高温导致永久磁铁退磁及磁流体轴封材料变质，除保留原设计循环水冷装置外，并将真空侧轴承润滑油改以磁流体取代，作为额外缓重屏障。 特点
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某半导体晶圆制代工厂化学蒸气真空镀膜装置(CVD)原采用传统设计旋转轴封，但每三个月必须拆下检查更换轴封耗材，以避免因轴封失效而造成的良率降低，耗费人力物力。